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什么是平顶光束?

发布时间:2022-09-14 23:08:00 | 作者:火狐直播 点击量: 12
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  平顶(TH)光束是一种强度散布平坦且均匀的光束,边际尖利,能量敏捷下降至零。平顶光束的形状可所以正方形、矩形、直线、圆形或其他任何形状。

  平顶光束一般有两种类型,即平行平顶光束和光束腰(焦点)平顶光束。平行平顶光束是平顶光束散布传达必定间隔的光束,可是假如聚集或传到达远场,将不会发生平顶光斑(而是相似贝塞尔光束的中心光斑)。这些光束一般是平行平顶光束或特别光学模块(如Holo/Or的平行平顶模块)的输出。

  这些平行平顶光束不能在透镜的焦点处运用,需要高比率的成像,因而一般用作自在光束(非聚集),用于晶片查看或传感检测等运用。

  至少关于工业高功率激光运用程序来说,更风趣的平顶光束类型是光束腰平顶。由衍射平顶光束整形器发生这些光束,然后聚集到平顶光斑,平顶光斑仅出现在光束腰周围,即透镜的焦平面。

  这种聚集作用使得聚集的平顶光束十分适宜运用于激光微电子生产进程,由于这种作业一般是在扫描体系的焦平面上完结的。

  大多数微电子激光加工都是阈值处理进程,包含微加工,例如经过激光烧蚀从选定区域去除金属、在印刷电路板(PCB)或玻璃上钻孔、激光诱导前向传送触摸以及进行其他激光处理。阈值处理进程的特征在于待加工的某些区域有必要到达特定阈值激光能量密度。关于这种处理进程,平顶能量散布具有十分抱负的优势。

  与大多数激光束的高斯光束概括不同,其间高斯光斑的宽度(高于工艺阈值)与能量成正比,平顶能量概括的特征在于脉冲能量和高于阈值的光斑尺度之间简直没有相关性。

  关于微电子技术来说,这意味着待加工区域具有锋利的边际,具有简直与激光能量无关的清晰尺度。这增加了激光机的灵活性,使其能够处理不同厚度的资料,一起依然坚持正确的形体尺度。因而,除了在太阳能电池板制作和半导体方面的相似工业运用之外,微电子激光加工也是一个抢先的平顶光束运用领域。

  衍射平顶光束整形器一般很容易地集成到用于微电子加工的现有的激光机中。这种机器一般选用振镜扫描器与F-theta扫描透镜的组合办法来操控作业表面上的光斑。这个光斑能够经过在扫描器前增加一个适宜的衍射平顶光束整形器来整形。这是一个使集成操作变得简单明了的单一平面窗格状组件。

  平顶光束是一种能量散布曲线平坦而均匀的光束,而不是像大多数激光器那样,在中心呈更高强度的高斯型散布。光束形状可所以任何形状:圆形、方形、线形、矩形或其他形状。

  平顶光束一般有两种类型,平行平顶光束和光束腰(焦点)平顶光束。平行平顶光束不太适宜微加工,由于聚集会导致聚集时失掉平坦的顶部概括。束腰型平顶光束是微电子激光加工中运用的首要光束。

  最好的办法之一是运用一个衍射光束整形器,在光束上使用相位概括,将光束转换成透镜焦点处的平顶光斑。

  一般来说,激光器有必要是单模激光器,光束巨细有必要契合整形器的规划输入要求,而沿途径的一切孔径至少需要是光束巨细的X2倍。